SISTEMAS y COMPONENTES PARA SPUTTERING:
INTERCOVAMEX es el proveedor líder en México y en América Latina de sistemas
y componentes para el depósito de recubrimiento y películas delgadas por el método
de erosión catódica (Sputtering en ingles) utilizando un plasma de gas inerte ó reactivo.
Esta técnica se utiliza tanto en sistemas de I+D para desarrollar nuevos materiales
como en sistemas de producción de DVDs, discos duros, vidrio, aparatos electrónicos
ó
médicos y accesorios automotrices por ejemplo.
En 1994, INTERCOVAMEX inicio una actividad de integración de sistemas
a la medida de las necesidades y presupuestos de los investigadores de la región
y es ahora el más grande fabricante de América Latina de sistema
de depósito al alto vacio para I+D.
Los sistemas se integran en Cuernavaca, Morelos , México solamente con elementos
de primera calidad importados de compañías líderes mundiales arriba mencionadas.
A continuación, le presentamos algunos de los sistemas
que han tenido más éxito:
El modelo V3 es recomendado para depositar 3 materiales (6 posible)
de manera secuencial o simultanea (cosputtering) sobre sustratos de 75 mm
de diámetro típicamente y con muchas posibilidades de opciones como deposito
por láser pulsado, por evaporación térmica, calefactor rotatorio, análisis de plasma, medición de espesor por balanza de cuarzo o por elipsometría,
cámara de introducción (load lock)…
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El modelo V4
es similar al V3
pero de mayor tamaño
para depositar sobre sustratos
de 100 mm a 200 mm
de diámetro
y con 4 materiales típicamente. |
El modelo V1 es una versión máscompactay más económica que el V3
cual permite deposita secuencialmente ó simultáneamente 4 materiales
sobre sustratos de 25 a 50 mm típicamente para presupuestos más modestos,
la serie H2 permite depositar hasta dos materiales sobre pequeños sustratos
(25 a 75 mm de diámetro típicamente).
Para presupuestos más modestos, la serie H2 permite depositar
hasta dos materiales sobre pequeños sustratos (25 a 75 mm de diámetro típicamente).
Las evaporadoras térmicas Intercovamex de la serie TE12
y TE18 permiten montar hasta dos magnetrones de Sputtering
(cosputtering ó secuencial)
Para sistemas de sputtering mas automatizados, Intercovamex ofrece los sistemas
de la marca K.J. LESKER
