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Generadores de RF
Los generadores GHW ofrecen confiabilidad comprobada en el campo, estabilidad excepcional y repetibilidad insuperable para un alto tiempo de actividad y rendimiento del proceso.
Son ideales para la Deposición de Vapor Químico Mejorado por Plasma (PECVD), CVD de plasma de alta densidad (HDPCVD), grabado y otras aplicaciones de película delgada durante la fabricación de circuitos integrados, pantallas planas y dispositivos de almacenamiento de datos.
Los generadores de energía RF de la serie GHW ofrecen potencias de salida máximas nominales de 1250, 2500 y 5000 vatios a una frecuencia de 13.56 MHz.
Modelos disponibles:
- Generadores de plasma RF KEINOS ™ de 2 MHz, 5 kW, 11 kW y 13 kW.
- NOVA® Generadores de plasma RF de 2 MHz.
- Generadores de plasma RF Elite ™ 13.56 MHz.
- Generadores de plasma de RF de alta confiabilidad de 13.56 MHz, 1.25, 2.5 y 5.0 kW de la serie GHW.
La sintonización de frecuencia automática opcional permite redes de coincidencia fijas para una sintonización más rápida.
Excelente confiabilidad para mayor tiempo de actividad y menor costo de propiedad.
La protección automática de desajuste de carga protege contra la sobre-disipación de cargas adversas.
Rango de impedancia de carga ilimitada para potencia estable en cualquier carga.
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