Sistemas de Depósito y Tratamientos Térmicos

Sistemas de Depósito

Sistemas de Depósito y Tratamientos Térmicos
Intercovamex tiene mas de 25 años de experiencia en la distribución, diseño, fabricación, reacondicionamiento, instalación y mantenimiento de sistemas de deposito al vacío de películas delgadas (10 a 1000 nm) y recubrimientos (1 a 15 micras típicamente). Ofrecemos sistemas PVD (physical Vapor deposition) y CVD (Chemical Vapor deposition) para aplicaciones como recubrimientos duros, tratamientos antireflejantes, metalizado, semiconductores, dispositivos optoelectrónicos y médicos. Las técnicas PVD incluyen erosion catódica (sputtering), arco catódico (vacuum arc), evaporación resistiva, evaporación por cañon de electrones, epitaxia por haces moleculares (MBE) y deposito por laser pulsado (PLD). Las técnicas CVD incluyen MOCVD, RT CVD, PECVD y ALD. Se ofrecen también técnicas a presión atmosférica como electrospinning y spin coating.

Equipos PVD Manuales y Semi-automatizados INTERCOVAMEX

En Intercovamex contamos con una gama muy amplia de sistemas PVD que pueden configurarse de acuerdo a…

Equipos PVD Automatizados

El sistema Nano36 es un sistema de depósito de películas delgadas de precio accesible, por pulverización catódica (sputtering) o por…

Equipos PVD Compactos

También contamos con pequeños equipos compactos para la preparación de muestras para SEM y TEM por…

Equipos CVD Automatizados

Los sistemas de depósito de inyección directa de líquidos (DLI, por sus siglas en inglés) de Annealsys utilizan vaporizadores DLI de última generación que permiten…

Equipos ALD Automatizados

Actualmente, ofrecemos dos sistemas de vanguardia para el depósito de capas atómicas (ALD): el ALD150LX y el ALD150LE. A medida que…

Equipos MBE Automatizados

Contamos con un portafolio de sistemas para investigación de la marca Riber que permiten depositar una amplia gama de capas epitaxiales en obleas de hasta…

Spin Coating

Contamos con sistemas compactos de spin coating de la marca MTI con mandriles de vacío diseñados para un recubrimiento fácil y rápido para obleas de hasta…

e-Spinning

Tenemos una gama completa de sistemas de electrospinning de la marca BioInicia para cubrir todas las necesidades en su laboratorio para actividades de…

Tratamientos Térmicos

Sistemas de Depósito y Tratamientos Térmicos
Los tratamientos térmicos rápidos (RTP) son procesos en los cuales se calientan las obleas de silicio a altas temperaturas (más de 1000 °C) en una escala de tiempo de varios segundos o menos. Sin embargo, durante el enfriamiento, las temperaturas de la oblea deben bajarse lentamente para evitar las dislocaciones y la rotura de la oblea debido a un choque térmico. Estos procesos se utilizan para una amplia variedad de aplicaciones en la fabricación de semiconductores, incluida la activación de dopantes, la oxidación térmica, el reflujo de metales y la deposición química en fase vapor.

RTP

Los hornos de procesamiento térmico rápido (RTP) de Annealsys pueden abordar varias aplicaciones con un rango de temperatura y capacidad de vacío…