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Direct Write Systems Ultra
El escritor de máscara láser ULTRA de Heidelberg Instruments se basa en una tecnología que ha evolucionado a partir de nuestra línea bien establecida de generadores de patrones de volumen. El ULTRA ha sido diseñado y optimizado específicamente para la producción de fotomáscaras de semiconductores en el nodo de diseño de 150 nm. Nuestro creador de máscaras se caracteriza por su velocidad, la ruta de datos avanzada, la alta precisión y la uniformidad de la estructura, y las funciones de alineación sofisticadas y extremadamente precisas. Al mismo tiempo, el ULTRA representa una solución económica con bajo costo de propiedad. Con su construcción moderna y compacta, se incorpora fácilmente a una infraestructura de máscaras existente.

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