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IS-2000V Compressor
Ofrece el menor consumo de energía en todas las fases de operación gracias a la combinación de mayor presión, tecnología rotativa y entrega adaptable de helio que se alinea con los objetivos SEMI S-23. El IS-2000V reemplaza dos compresores IS-1000 integrados. Este compresor de helio de alta capacidad está diseñado para admitir aplicaciones de criobomba IS a bordo.
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