Axio Imager

Analice los sensores MEMS más pequeños hasta una oblea XXL o incluso pantallas planas completas sin destruirlas. Gracias a la altura de la muestra de hasta 254 mm y al espacio lateral de hasta 300 mm, podrá examinar la gama más amplia de muestras con Axio Imager Vario. El diseño de la columna ofrece una gran estabilidad. Tome el control de su oblea en la sala limpia. Un z-drive motorizado, además del enfoque automático por hardware, garantiza el ajuste automático de la posición de enfoque óptima.

Clean Room
La producción de semiconductores e inspección de obleas se realiza en salas limpias. Las salas blancas se clasifican según la norma DIN EN ISO 14644-1, diferenciando por número y tamaño de partículas por m³. Axio Imager Vario está certificado según esta norma y cumple los requisitos de la clase de sala limpia 5. La clase de sala limpia ISO 5 equivale a la clase 100 de la norma anterior FED STD 209E (1992). Utilice el kit de sala limpia, que contiene una torreta de boquilla de 7x, protección contra partículas y protector contra estornudos.